- Abstandsverfahren
- nбесконтактный метод; метод бесконтактного экспонирования [бесконтактной фотолитографии]; метод фотолитографии с микрозазором [на микрозазоре]
Deutsch-Russische Wörterbuch polytechnischen. 2013.
Deutsch-Russische Wörterbuch polytechnischen. 2013.